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FS4001系(xì)列測量(liàng)氣體流(liú)量傳感(gan)器

産品(pin)時間：2025-12-01

FS4001系列測(ce)量氣體(ti)流量傳(chuan)感器是(shi)專門爲(wèi)各類小(xiǎo)流量氣(qi)體的♈測(ce)✂️量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yī)系列傳(chuan)感器均(jun)采用🈲本(běn)公司自(zì)主研發(fā)的微機(ji)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(piàn)😄來制作(zuo)🍉，适用于(yú)各類清(qing)❓潔氣體(tǐ)。

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詳(xiáng)細介紹(shào)

簡介：

FS4001系(xi)列測量(liàng)氣體流(liú)量傳感(gǎn)器 是專門(men)爲各類(lèi)小流量(liàng)氣體的(de)測量和(he)過程控(kòng)制而設(she)計的♌。這(zhe)一✉️系列(lie)傳感器(qì)均采用(yong)本公司(si)自主研(yan)發的微(wēi)機電系(xi)統（ MEMS ）流量傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuo)。

FS4001系列測(ce)量氣體(tǐ)流量傳(chuan)感器 适用(yòng)于各類(lèi)清潔氣(qì)體。*的封(fēng)裝技術(shù)使之可(ke)用于各(gè)類🔞管🥰徑(jìng)，成📧本低(di)、易安裝(zhuāng)、不需要(yao)溫度壓(ya)力補償(chang)，可替代(dài)容積式(shì)或壓差(chà)式的傳(chuán)統流量(liang)傳感器(qì)。

産品(pin)特點：
- 傳感(gǎn)器靈敏(mǐn)度高 , 有極(jí)小的始(shi)動流量(liang)
- 傳(chuan)感器芯(xīn)片采用(yong)熱質量(liang)流量計(ji)量 , 無需溫(wen)度壓力(li)補償 , 保證(zhèng)了傳
- 感器(qi)的高精(jing)度計量(liang)
- 在(zài)單個芯(xīn)片上實(shi)現了多(duō)傳感器(qi)集成 , 使傳(chuan)感器的(de)量程比(bǐ)大大提(tí)高
- 傳感器(qi)的零點(diǎn)穩定度(dù)高
- 全量程(cheng)高穩定(dìng)性
- 全量程(chéng)高精确(que)度和優(you)良的重(zhong)複性
- 低功(gong)耗
- 低壓損(sun)
- 響(xiang)應時間(jiān)快
主要參(cān)數：

通徑(jing)

大流量(liàng)

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程比(bǐ)

>100：1

精度

重(zhòng)複性

0.25

%讀(du)數

±30

±0.12

響(xiang)應時間(jiān)

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電(dian)源

輸出(chū)方式

線(xiàn)性，RS232/模拟(ni)電壓0.5~4.5Vdc

大工(gong)作壓力(li)

0.5

MPa

-10 ~ +55

存儲(chu)溫度

空氣（或(huo)其他氣(qi)體），20oC，101.325kPa

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FS4001系(xì)列測量(liàng)氣體流(liú)量傳感(gan)器

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