氣體檢測/測漏流(liu)量計
産品簡介:
FS4001系(xì)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shì)專門爲各類小流(liú)量👅氣體的測量和(he)過程控制而設計(ji)的。這一系列傳感(gan)器均采❌用本公司(sī)自主研發的微機(ji)電系統(MEMS)流量傳感(gǎn)芯片🤟來制作🔱,适用(yong)于各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使之(zhī)可用于各類管徑(jing),成本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式(shì)或壓⚽差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
氣體(ti)檢測/測漏流量計(ji)産品特點:
- 傳感器(qì)靈敏度高,有極小(xiao)的始動流量
- 傳感(gǎn)器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需(xu)溫度壓力補🌈償,保(bǎo)證了傳
- 感器的高(gāo)精度計量
- 在單個(gè)芯片上實現了多(duo)傳感器集成,使傳(chuán)感器的量程比大(dà)大💞提高
- 傳感器的(de)零點穩定度高
- 全(quán)量程高穩定性
- 全(quan)量程高精确度和(he)優良的重複性
- 低(dī)功耗
- 低壓損
- 響應(ying)時間快
主要參數(shu):
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性能參數
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FS4001
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單位
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通(tong) 徑
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1.0
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1.8
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mm
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zui大流量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SLPM
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量程比(bi)
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2132132132131231312100:1
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精 度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重複性
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0.25
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%讀數(shu)
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零點輸出飄移
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±30
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mV
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輸(shū)出飄移
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±0.12
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%/oC
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響應時間(jiān)
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出方(fang)式
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線性,RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
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zui大流量壓損
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350
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300
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pa
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zui大工(gōng)作壓力
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0.5
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MPa
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工作溫度(du)
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-10 ~ +55
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oC
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存儲溫度
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-20 ~ +65
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oC
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工作濕(shī)度
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<95%RH(無結冰、無凝露(lù))
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機械接口
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可拆式(shì)軟管接頭
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校準方(fāng)式
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空氣(或其他氣(qì)體),20oC,101.325kPa
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重量
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15
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g
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